潔淨棚通過以下核心措施控(kòng)製顆粒物濃度:
1. 高效過(guò)濾係統:采用HEPA或ULPA過濾器,過濾效率達99.99%以上(針(zhēn)對0.3μm顆粒),確保送風潔淨(jìng)。
2. 氣流組織設(shè)計:
單向流(liú)(垂直/水平層流):氣流均勻覆蓋工作區(qū),快速帶走(zǒu)汙染物,適(shì)用於(yú)ISO 5級(百級)等高要求場景。
非單向流:配合FFU(風機過濾單元)循(xún)環過濾,適合ISO 6-8級(千級至十萬級)。
3.壓差控製:維持(chí)正壓(如+5~+10Pa)防止外部汙(wū)染侵入,關鍵區域可設置緩衝間。
4. 材(cái)料與結構:采用光滑抗菌板材、無縫接縫,減少積塵死角;透明簾或硬質圍擋平(píng)衡密閉性與操作性。
5. 監測與維護:實(shí)時粒子(zǐ)計數器監測(cè),定期更換過濾器、清潔表麵,確(què)保長期穩定性。
行業適配:
半導體/光電:需ISO 4-5級,采用ULPA過濾器+高風速單向(xiàng)流。
醫藥/食品:ISO 5-7級,側重防微生物汙染,材料需耐腐(fǔ)蝕。
普通電子:ISO 6-8級(jí),FFU循環係統即可滿足,成本更低。