潔(jié)淨(jìng)室內的氣流是左(zuǒ)右潔淨室性能的重要因素,一般潔淨室的氣流速度是選0.25~0.5m/s之間,此氣流速度屬微風區域,易受人、機(jī)器等的動作而(ér)幹擾趨(qū)於(yú)混亂(luàn)、雖(suī)提高風速可抑製此一擾亂之影(yǐng)響而(ér)保持潔淨(jìng)度(dù)、但因風速的提高,將影(yǐng)響運轉(zhuǎn)成本的增加,所以應在滿足(zú)要求的潔淨度水準(zhǔn)之時,能以最適當的風速供應,以達到適(shì)當的風速供(gòng)應以達(dá)到經濟性效果。另一方(fāng)麵欲達到潔淨(jìng)室潔淨度之穩定效果,均一氣(qì)流(liú)之保持亦為一重要因素,均一氣流若無法保持,表示(shì)風速(sù)有異,特別是在壁麵,氣流會延著壁麵發生渦流作用,此時要實現高潔淨度事實上很困難。
垂直層流(liú)式方向要保持均一氣流必須(xū):吹出(chū)麵的風(fēng)速不可有速度上的差異;地板回風板吸入麵之風速不可有速度上的差異。速度過低(dī)或過高(gāo)(0.2m/s,0.7m/s)均有渦流之現象發生,0.5m/s之速度,氣流則較均一,一般潔淨室,其風速均取在(zài)0.25~0.5m/s之間。拆卸式壁板設計,便於在內部對粉塵顆粒過(guò)濾器(qì)進行維護;循環氣流(liú)或單向氣流模式,當加(jiā)工操作過程中使用有機溶劑或產生有害煙霧時,需要采用單向氣流模式(電子原器件需要額外(wài)的防爆(bào)檢測並提供證明)再循環氣流係統產生的熱量可以通過加裝的冷卻盤管消除;HEPA/ULPA膠封型下沉氣流過濾器可在潔淨工作(zuò)室內進行更(gèng)換,過濾器膠封技術相比較傳統的密封墊方法在實際使用中更為可靠。