潔淨(jìng)室等級A.B.C.D基本(běn)參數規定:
A級潔淨區(百級潔淨棚)
潔淨實際操作區(qū)的氣溫(wēn)應為20-24℃。
潔淨實(shí)際操作區的氣體相對濕度應(yīng)為45%-60%
實際(jì)操作(zuò)區風力:水平風力≥0.54m/s;垂直風力≥0.36m/s。
高效送風(fēng)口泄漏超過99.97%
光強:>300lx-600lx。
噪聲:≤60db(動態檢測)
B級潔淨區(千級潔淨棚)
潔淨實際操作區的氣(qì)溫應為20-24℃。
潔淨實際操作區(qū)的氣體相對濕度應(yīng)為45%-60%
房間換風次數:≥25次/h。
壓差:B級相對性戶(hù)外≥10Pa,根據氣(qì)旋流入,同級(jí)差區應保(bǎo)持一定的壓差。
高(gāo)效送(sòng)風口泄(xiè)漏超過99.97%
光強(qiáng):>300lx-600lx。
噪聲:≤60db(動態檢測)
C級潔淨區(萬級潔淨棚)
潔淨實際操作區的氣溫應為20-24℃。
潔淨(jìng)實際操作區的氣體相對(duì)濕度應為45%-60%
房間換風次數:≥25次/h。
壓差:C級相對性戶外(wài)≥10Pa,根據氣旋流入,在同等水平的不同區域保持一定(dìng)的壓差。
高(gāo)效送風口泄漏超過99.97%
光強:>300lx-600lx。
噪聲:≤60db(動態檢測)
D級潔淨區(十萬(wàn)級潔淨棚)
潔淨實際操作區的氣溫應為(wéi)18-26℃。
潔淨(jìng)實際操作區的氣體(tǐ)相對濕度應為45%-60%
房間換(huàn)風次數:≥15次/h。
壓差:100.000級(jí)相對性戶外≥10Pa,
高效送(sòng)風口泄漏超過99.97%
光強:>300lx-600lx。
噪聲:≤60db(動態檢測)