千級（jí）潔淨棚標準

1.空（kōng）氣質（zhì）量要求:潔淨棚（péng）內空（kōng）氣中顆（kē）粒（lì）物濃度應小於0.5微米/立方米，

微生物濃（nóng）度應小於1個/立方米。

2.溫度和濕度要求:潔（jié）淨棚內溫度應保持在18℃~26℃之間，相對濕度應控製在45%~65%之間。

3.空氣（qì）流速要求:潔淨棚內空氣流速應保（bǎo）持在0.25m/s~0.5m/s之間。

4.地麵和牆壁材料要求（qiú）:地麵和牆（qiáng）壁材料應為防靜電材料，並且易清洗、無塵埃積累。

5.照明要求:照明強度應達到（dào）300~500LX，並且光源不得產生紫外線和紅外線輻射。

6.進出口通道（dào）要求:進出口通道應設置空氣鎖門或風淋室，以防止外

界汙染物進入潔淨（jìng）棚內。